Proyectos Europeos en nanolitografía

NaPa (Nanopatterning Emerging Methods):

Métodos emergentes de nanoestampación (Napa) es un proyecto integrado en el 6 º Programa Marco de la Comisión Europea. The NaPa consurtium consists of 35 groups from 30 institutes. El consortium NaPa consta de 35 grupos de 30 institutos. NaPa integra el nuevo método de nanomodelado en solo un proyecto, ambos anticipando y respondiendo a la creciente necesidad de tecnologías estándares y metrología requerida para aplicaciones en nanotecnología. La investigación es llevada a cabo en tres capítulos tecnología: la litografía por nanoimpresión, litografía blanda y auto-ensamblaje.

Un subproyecto de NaPa es el método de la plantilla (máscara de sombra litografía que suele utilizar membranas de estado sólido con estructuras en el rango nanométrico (<100> 10 micras). Estos patrones pueden ser transferidos a un substrato de una fase del proceso único, posiblemente en un modo no-contacto. Estos detalles hacen la galería de símbolos método aplicable a las superficies que son, ya sea mecánica inestables, como los voladizos y las membranas, y / o funcionarizadas, por ejemplo, para aplicaciones biosensor.